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Nettoyeur d'ozone UV

NégociableMise à jour sur12/21

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Vue d'ensemble

Élimination de la contamination organique par le double effet de l'ozone et de la lumière ultraviolette à deux longueurs d'ondesUV Ozone Cleaner※La méthode de nettoyage à sec…

Détails du produit

Élimination de la contamination organique par le double effet de l'ozone et de la lumière ultraviolette à deux longueurs d'onde
Nettoyeur d'ozone UV

※La méthode de nettoyage à sec sans dommages peut éliminer les contaminations organiques qui adhèrent aux substrats par un processus de résolution d'oxydation photochimique.

Détails du produit

Avantages
UV Ozone Cleaner

【Avantages de la méthode de nettoyage de l'ozone UV】

	●	Élimination facile des contaminations organiques sur le substrat qui ne pouvaient pas être enlevées par nettoyage à ultrasons seul.
	●	Élimination du solvant organique utilisé dans le nettoyage humide.
	●	Possibilité d'éliminer les contaminations organiques sans endommager la surface du substrat.
	●	Accumulation plus facile du film L-B. (Le taux cumulatif est considérablement amélioré.)
	●	Acailable à pression tmosphérique. Pas besoin de dispositif de vide.

【Avantages du nettoyant d'ozone UV de Filgen】

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Type de bureau compact qui économise de l'espace.

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Commutation automatique de gaz.
En connectant la tuyauterie d'oxygène et la tuyauterie d'azote et en réglant à l'avance le débit de chaque gaz, l'appareil peut effectuer automatiquement les étapes suivantes.
Introduction de l'oxygène → Nettoyage UV → Introduction d'azote (gaz d'échappement d'ozone)
L'oxygène peut augmenter l'efficacité de la génération d'ozone et l'azote peut purger l'ozone.

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(Lampe à tube droit équipée modèle - UV253V8)
Aucune fuite d'ozone parce qu'il a une construction étanche.
La chambre du dispositif est une construction étanche qui peut maintenir une pression de 0,02 MPa.
Lors de la connexion à une bouteille à gaz, le dispositif peut effectuer automatiquement les étapes suivantes sans l'entrée d'air extérieur.
Introduction de l'oxygène → Nettoyage UV → Introduction d'azote (gaz d'échappement d'ozone).
La fuite d'ozone peut raccourcir la durée de vie des parties du dispositif lui-même et peut affecter les données d'expériences chimiques ou biologiques, ce qui peut causer de graves problèmes.
(Autres modèles en dehors de UV253V8)
Aucune fuite d'ozone lorsqu'elle est connectée à un dispositif de décomposition de l'ozone.
Lors de la connexion à une bouteille à gaz, le dispositif peut effectuer les étapes suivantes automatiquement sans l'entrée d'air extérieur.
Introduction de l'oxygène → Nettoyage UV → Introduction d'azote (gaz d'échappement d'ozone).

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Le système de détection de l'ozone et le mécanisme de verrouillage de porte sont disponibles en option pour éviter les erreurs humaines qui peuvent conduire à des fuites d'ozone ou UV.
(système de détection de l'ozone)
Après avoir utilisé un dispositif de décomposition de l'ozone ou purgé avec de l'azote, mesurer la concentration d'ozone dans la salle de nettoyage. La porte sera ouverte après confirmation que la concentration d'ozone répond aux normes de sécurité.
(Mécanisme de verrouillage de porte)
Le mécanisme de verrouillage dédié empêche l'ouverture de la porte pendant que la lampe UV est allumée (pendant la génération d'ozone).
(Système de détection de l'ozone interverrouillant et mécanisme de verrouillage de porte)
En équipant et en verrouillant le système de détection de l'ozone facultatif et le mécanisme de verrouillage de la porte, la porte ne peut pas être ouverte à moins que la concentration d'ozone dans la salle de nettoyage ne réponde aux normes de sécurité.

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En fonction de l'application, deux types différents de lampes UV (lampes UV à tube droit et lampes UV à réseau électrique à haute densité) peuvent être choisis.

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Pour les deux types de lampes à mercure à basse pression ci-dessus, des spécifications de quartz fusionné et des spécifications de quartz synthétique sont disponibles. Veuillez sélectionner en fonction de la demande.
Il est également possible de remplacer la lampe plus tard, sans changer les autres parties du dispositif.
* La spécification de quartz synthétique émet beaucoup mieux de lumière de longueur d'onde de 184,9 nm (environ 1,7 fois) que la spécification de quartz fusionné, ce qui peut améliorer considérablement l'efficacité de nettoyage.

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Timer numérique avec fonction de compte à rebours.

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Facultatif Killer d'ozone (dispositif de docomposition de l'ozone) équipement peut enlever et épuiser l'ozone et rend l'environnement de travail encore plus sûr.

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Connexion facile parce que tous les tubes en nylon et les connecteurs de joints utilisent des joints à une seule touche.

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Longueur flexible du tube de connexion, qui est en nylon et peut être coupé librement.

Le principe du nettoyage de l'ozone UV
UV Ozone Cleaner

Le nettoyage de l'ozone UV est un processus d'oxydation photosensible utilisant la lumière UV de longueur d'onde courte. Au cours de ce processus, les contaminants organiques tels que la photorésiste, la résine, l'huile de silicium et le flux sont décomposés en absorbant le rayonnement UV à courte longueur d'onde.
Les molécules d'oxygène deviennent de l'ozone à une longueur d'onde de 184,9 nm et l'ozone se décompose à une longueur d'onde de 253,7 nm, produisant simultanément des espèces d'oxygène réactifs.
La majeure partie de la lumière UV de 253,7 nm est absorbée par les hydrocarbures et l'ozone.
Les produits des contaminants décomposés réagissent avec les espèces réactives d'oxygène et forment des molécules volatiles plus simples (ex.₂ H₂O etc.), puis se détacher de la surface du substrat.
Lorsque la lumière UV de longueur d'onde 184,9 nm et 253,7 nm existe, les atomes d'oxygène continuent à être générés et se transforment en ozone, puis l'ozone se décompose.

UV Ozone Cleaner

La conversion de la lumière UV de 184,9 nm en énergie par mole est de 647 KJ/mol.
La conversion de la lumière UV de 253,7 nm en énergie par mole est de 472 KJ/mol.
L'énergie de liaison des différentes molécules de matière organique est répertoriée dans le tableau de droite.

Liaison	Énergie de liaison (KJ/mol)	Liaison	Énergie de liaison (KJ/mol)
Ｏ－Ｏ	138.9	Ｃ＝Ｃ	607
Ｏ＝Ｏ	490.4	Ｃ≡Ｃ	828
Ｏ－Ｈ	462.8	Ｃ＝Ｏ	724
Ｃ－Ｃ	347.7	Ｃ－Ｃｌ	328.4
Ｃ－Ｈ	413.4	Ｈ－Ｆ	593.2
Ｃ－Ｎ	291.6	Ｃ－Ｆ	441.0
Ｃ≡Ｎ	791	Ｈ－Ｃｌ	431.8
Ｃ－Ｏ	351.5	Ｎ－Ｈ	309.8

Application
UV Ozone Cleaner

◆ Prétraitement du revêtement à film mince

	Nettoyage du film ITO de l'EL organique
	Nettoyage du substrat avant l'accumulation de film LB
	Nettoyage photoresist
	Nettoyage plaquette de silicium, lentille, miroir, panneau solaire, acier laminé à froid, sous-composant à induction inertielle, plaquette GaAs
	Nettoyage de circuit hybride et écran LCD à panneau plat
	Amélioration de l'adhésion du revêtement au plastique
	Procédé de nettoyage du substrat avant formation de film par méthode de trempage

◆ Applications liées au microscope électronique

	Élimination des contaminants des échantillons SEM et/ou TEM
	Amélioration de la mouillabilité et de l'affinité des couteaux en diamant et en verre
	Amélioration de la mouillabilité et de l'hydrophilicité du film support

◆Ohers

	Stérilisation et lavage de la biologie
	cantilever AFM
	Modification de surface PDMS
	Nettoyage de l'étanchéité hermétique pour le vide ultra-haut
	Suppression du flux
	Gravure de téflon, viton et autres matières organiques
	Dégazage du verre
	Enlevement du ruban plaquette
	Enlèvement d'encre de la plaquette testée
	Recoit de Ta₂O₅ films diélectriques

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